香川 恵永
Yoshihisa Kagawa

半導体のプロセス技術開発、半導体の3次元積層技術開発
半導体製造プロセスやそれらを組み合わせるインテグレーション技術開発に従事。特に、配線(Cu配線)工程に高い専門性を有する。また、半導体ウェハやチップを3次元的に高密度に積層する技術(Cu–Cu接続)を世界で初めて実用化し、ソニーの積層型CMOSイメージセンサーの高性能化、高機能化に貢献。現在では、CMOSイメージセンサーだけでなく、半導体全般を積層する技術領域で活躍しており、特にCu–Cu接続技術はAI向け半導体を構成する上で不可欠な要素となっている。
令和6年度 全国発明表彰 内閣総理大臣賞
令和8年度 科学技術分野の文部科学大臣表彰 科学技術賞(開発部門)